《涡轮分子泵的前级机组可以有哪些配置》里，螺杆真空泵厂家和大家一起了解了下涡轮分子泵抽气系统常用的机组配置。接下来再来看看涡轮分子抽气系统运行时的一些注意事项。

涡轮分子泵抽气系统运行时需要注意的一些事项主要包括以下几个方面：

一、涡轮分子与粗抽泵之间的切换压力。涡轮分子泵抽气系统中的粗抽泵可能存在返油问题，污染真空室。但真空室内压力在50～100Pa时，粗抽泵不会产生返油。因此为防止污染，会在这个压力区间内关闭粗抽阀，开启主阀，用涡轮分子开始抽真空室。

二、涡轮分子泵停机过程中来自前级管路的污染。涡轮分子泵停机过程中，当转子速度低于最大转速的40%时，来自前级管路的油蒸气会出现返流，污染分子泵与真空室。因此需要在前级泵的进气口安装微调阀，可以将干燥氮气或氩气充入泵体进行冲洗，消除油蒸气污染。

三、涡轮分子泵停泵时来自轴承润滑油和润滑脂的污染。分子泵的轴承也会采用油润滑或脂润滑。泵停止工作时，它们蒸发产生的油蒸气也会成为真空室的污染源。这种需要通过烘烤涡轮分子泵的壳体来改善。

四、涡轮分子泵运行中断电造成的污染。涡轮分子泵运行中，由于各种原因导致断电，泵停止工作，此时由于压差，就会使前级管路中的油蒸气返流到清洁端。针对这种情况，需要立即关闭主阀，并在前级泵的入口设置微调阀，向泵内充气。

五、固体颗粒对涡轮分子泵的影响。涡轮分子泵的转速很高，因此即使是一些小颗粒固体也可能使泵损坏，所以启动前需要仔细清理真空室，尤其是在真空室下部安装的涡轮分子泵。

六、冷却水问题。涡轮分子泵在开启前就需要打开冷却水，当泵停止工作后则要立即关闭冷却水，防止腔体结露，水源也最好是专用的，防止水路堵塞。

七、磁场对涡轮分子泵的影响。在强磁场中运行的涡轮分子泵会出现热膨胀、叶片间距缩小，进而卡死以及转速降低等情况。因此强磁场环境下需要有金属屏蔽。

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