旋片泵这类油封式机械泵在工作中，泵腔中的润滑油部分会蒸发然后逆气流方向运动进入真空室，造成返油，污染真空室。关于这个，我们在《旋片泵等机械泵返油是怎么一回事》中已经谈过。返油在半导体、食品等很多领域都是不允许或者严格限制的。那油封式机械泵如何减少或防止返油呢，螺杆真空泵厂家珂勒曦和大家一起来了解下。

作为较为常见的真空泵，要减少或防止油封式机械泵返油主要有以下几个方面的措施：

首先，油封式机械泵返油中的油蒸气一般都是泵油中最轻的馏分，返油量随着压力的降低而增加，在泵的极限压力附近，泵的返油量最大；而压力高时，流动的空气有冲洗作用会降低返油率。为此油封式机械泵通过开启气镇阀，放入气体，增加压力，可以有效减少返油。

其次，通过增加管道内的压力来减少返油还有一种更有效的方式，就是在泵入口管道上设置放气阀，使压力维持在一定程度，比开启气镇阀能更有效地防止返油。两者效果对比可参见下图：

第三，在入口管道中设置各种捕集阱，如冷阱、吸附阱等来捕集油蒸气。像液氮冷阱、氧化铝吸附阱可以捕集99%的返流油蒸气，其他的还有离子阱、半导体制冷阱等。但需要注意的是这些捕集设备都需要维护清理，像吸附阱不仅会饱和失效，同时氧化铝、分子筛等还可能产生灰尘影响主泵设备。

第四就是采用特殊泵油，利用特殊泵油的低蒸气压特性，降低返油量。但特殊泵油的价格较贵，会影响到它的使用。

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