四极质谱计是一种分压力真空计，螺杆真空泵厂家在《真空系统常用真空计之分压力真空计》中有过提及。不过它不仅可以用于真空系统的分压力测量，同时可以用于检漏。了解这些之前，我们先来认识一下四极质谱计。

四极质谱计由离子源、分析器以及收集器三大部分组成。其中离子源一般采用碰撞型离子源，由灯丝、反射极、阳极组成；分析器由四根对称排列的双曲面四极杆组成，相对的两根电极相连得到两组电极；离子收集极则有采用法拉第筒直接收集，也有采用电子倍增器倍增后收集的。

四极质谱计的工作原理：离子源中的灯丝加热后发射电子，电子与气体分子碰撞，使气体分子电离，离子在孔电极组成的加速电场中不断加速后进入四极杆分析器中；对两对极杆施加直流电压与高频电压，并保持一定的电压幅值比值；然后，在某一特定的电压和频率下，那时只有一种质量的离子可以通过，其余则不能；也就是说当电压低时，低质量的离子在四极场中运动轨迹稳定，且运动轨迹幅度小于四极场半径，故低质量的离子可以通过四极场空间，其余无法通过；根据这一特点，分析过程中，直流电压与高频电压由小逐渐变大时，由小到大质量不同的离子，会依次通过分析器达到收集极，这一过程就称之为质量扫描；最后根据可以根据收集极离子流的变化，判断各种气体的成分和相对比例。这就是四极质谱计的简单工作原理。

因为四极质谱计在一个特定的电压与频率下工作时，只允许一种质量的离子通过，因此也被称为四极滤质器。它具有结构简单、分辨率与灵敏度良好、调整和操作方便、工作压强范围宽、响应快等特点。在残余气体分析中，也可用于气体检漏，后期螺杆真空泵厂家会继续介绍四极质谱计在检漏中的应用方法。

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