真空渗碳在真空冶金工艺中常被用于改善材料的表层及芯部组织，提高表明硬度、耐磨性，增加抗疲劳强度。与其他渗碳方式相比，真空渗碳具有渗速快、无氧化、质量好等优点。现在就和螺杆真空泵厂家一起了解下真空渗碳工艺的一些情况。

真空渗碳也叫低压渗碳，是在低于大气压氛围中进行气体渗透，使碳原子渗入零件表层的化学热处理工艺。它的整个过程与普通的气体渗碳基本相同，由渗碳气体的分解、活性碳原子的吸收、活性碳原子向内扩散三个过程组成，具体的流程包括零件清洗、装料、进炉抽真空（≤2000Pa）、升温及均热（900～1000℃）、渗碳与扩散、热处理等步骤。

根据各个阶段工艺参数的不同，整个真空渗碳工艺可分为一段式、脉冲式、摆动式这几种形式，真空度、温度、渗碳时间等随具体要求的不同，会发生相应变化。常用的渗碳气体包括丙烷、甲烷、乙炔、天然气等，为防止过程中产生炭黑，要求气体纯度(体积分数)大于96%，并可适当充入氮气进行稀释扩散。渗碳气体的流量以能使炉内压力增加133.33Pa/s为宜，渗碳压力用甲烷，炉压控制在26.6～45kPa，用丙烷，炉压为13.3～23kPa。渗碳气压力越高，渗碳越快，渗碳层越均匀。但产生的炭黑也多。在保证渗碳层均匀前提下，尽量选用低的渗碳压力，以减少炭黑的产生。真空渗碳的温度一般介于920～1080℃之间，具体的选择根据需处理的零件的类别、形状特点以及渗碳层深度来确定。

相比于传统的渗碳工艺，真空渗碳具有很多优点：如真空渗碳技术处理过的产品表面净化及活化效果好，渗碳速度快，渗碳时间约为普通渗碳的1/2～1/3；在真空中加热，不存在其他异常渗碳气体，因此不会产生氧化问题；渗碳过程在处理部件温度均匀后，渗碳均匀；节能环保，真空渗碳中22～29%的热量用于加热部件，远高于普通渗碳的6～10%，热效率高；等等。

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