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真空镀膜中的真空为什么是必须的

信息来源:珂勒曦 时间:2021-05-24 08:04:00 浏览次数:-

真空镀膜相比传统镀膜不仅更环保,而且膜层附着性更好,广泛应用于电子、半导体以及一些材料的表面硬化处理等方面。无论是那种真空镀膜方式,它都需要在较高真空度下进行。它为什么是必须的呢,螺杆真空泵厂家来告诉您。

真空镀膜设备

真空镀膜的方式多种多样,不论是蒸发镀膜,还是溅射镀膜,或者离子镀膜、卷绕镀膜,其核心的镀膜工艺过程都需要在10-2~10-4Pa,甚至更高的真空环境下进行。需要真空环境的原因,主要涉及两个方面:

真空镀膜过程中,薄膜材料需要通过蒸发或者粒子轰击使其成为分子或者原子,然后以较大的自由程做直线运动,碰撞待镀膜基片表面凝结后最终形成薄膜;如果镀膜室的真空度不够,就意味着残余的气体分子过多,薄膜材料分子平均自由程变小,抵达基片的过程中,会与残余的气体分子频繁发生碰撞,最终使薄膜材料的分子(原子)无法顺利抵达凝结成膜。

其次是,残余气体分子过多的情况下,薄膜材料分子(原子)凝结成膜时会夹杂大量其杂质气态分子,使薄膜的纯净度下降,进而影响膜层分子的附着性,使其牢固度下降,同时不纯的膜层更容易被氧化而产生其他杂质。

另外,像通过粒子轰击方式来获得薄膜材料分子(原子)的,本身就需要在真空环境下实现,以及离子清洗等过程也无法离开真空环境。

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