真空条件下要进行气体分析以及分压力的测量就需要用到真空分析质谱计。那真空分析质谱计一般都要满足那些要求呢，和螺杆真空泵厂家一起来看下。

真空分析质谱计的种类也有许多种，螺杆真空泵厂家在《真空系统常用真空计之分压力真空计》介绍过几类。实际应用中，对于真空分析质谱计，一般都需要满足以下几点要求：

一、仪器的探头尺寸要小、质量轻，且易于安装。

二、对于磁偏转型和摆线型真空分析质谱计，其杂散磁场必须很小。

三、设备的探头要具有互换性，成本低，允许一机可配数个探头。

四、真空分析质谱计的探头需要能经受400℃的烘烤，离子源能用电子轰击除气，以减小“记忆效应”。

五、设备的质量标度最好为线性标度，工作质量范围调节要方便。

六、设备要易于操作，离子源的工作参数应尽量固定。

七、真空分析质谱计需要具有较高的扫描速度，至少能将一部分质谱显示在示波器上。

如果用作分压计，还需要满足：

一、质谱计质谱的峰强和质谱的图形系数杜英真空系统中的气体量之间应具有一定的定量关系。

二、探头连接管的流导要打，减小压力差和质量歧视，最理想的是能作成裸规形式的探头。

三、要求磁偏转型和摆线型质谱计在重新安装磁铁后，对仪器性能不需要再作校准。

四、采用低工作温度的阴极和低发射电子流，以减小对分子的热分解、电清除及化学清除效应。

五、采用标准的电子轰击能量，从而尽可能使用标准的碎片图形（离子谱）。

六、设备具备良好的峰形、一致的峰宽，便于计算机处理数据。

为特定的目的选择仪器时，应首先从所需要的质量范围来确定所要求的最小可检分压力，再考虑在此灵敏度下仪器的分辨本领和扫描速度等。

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