在一些超高真空、极高真空条件下，真空工艺过程中不仅需要知道真空容器的全压力，同时可能需要了解真空容器中的气体组分及其分压力等情况。这时之前介绍的真空计就不再适用了，而需要用到另外的真空测量仪器叫残余气体分析仪或分压力真空计。

真空工艺过程中，各种作用过程与残余气体可能相互作用，因此了解气体组分及其分压力也就是真空的质和量两个指标就很有必要。目前分压力真空计大都是由专用的真空质谱计来承担，种类众多，但都是属于电离类型的，结构上主要由离子源、分析器和离子检测器3部分构成，首先通过电离气体，再分离，最后由检测器（收集极）接收离子并显示每一质荷比的离子流强度。细节的区分上，真空质谱计按分析系统的工作原理差异来区分，主要包括4类：

1、磁偏转质谱计，即在一定的入射速度下，根据不同质荷比的离子在磁场中偏转半径的不同来进行质量分离的质谱计。

2、飞行时间质谱计，也称渡越时间质谱仪。它是根据能量相同的离子因质量不同而具有不同的速率，因此在漂移管中飞越相同距离的时间不同，根据这点来进行质量分离的质谱计。

3、能量平衡质谱计。它包括射频质谱计和回旋质谱计，是根据离子在振荡电场中运动时其动能变化的不同而进行质量分离。

4、稳定性质谱计。这类质谱计是根据不同质荷比的离子在分析场内作振荡运动时，其相位或轨迹的稳定与否来进行质量分离的，它包括四极滤质器（四极质谱计）、线振质谱计、单极质谱计、三维四极离子阱等。

这些作为分压力真空计的质谱计中，四极质谱计是当下使用较为广泛的一种，具有体积小、重量轻、结构简单、分辨率好、灵敏度高、工作压力范围宽等优点。另外还有摆线质谱计原理上与磁偏转类似，只不过它的分析场是直流电场与恒定磁场构成的复合场。

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