一些金属氧化物半导体，在一定温度下其电阻会随着气体浓度、成分的变化而变化。根据这种特性可制成真空检漏仪器中的气敏半导体检漏仪。

半导体材料中，如二氧化锡、二氧化锰等，这类材料的电阻会随环境气氛（气体成分、浓度）的不同而发生变化，尤其是对一些可燃性气体特别敏感，我们称这些半导体材料为气敏半导体或气敏电阻。利用这种特性可以将半导体材料制成检漏仪的气敏件，气敏件可以将可燃性气体的浓度转化为电信号，制成真空检漏仪器后就是气敏半导体检漏仪。

气敏半导体检漏仪结构上简单地说包括检漏管和测量线路两部分：检漏管包括烧结体以及埋于其内的测量丝、加热丝；测量线路主要包括测量电路、振荡器、功率放大器、电源等。使用时采用压力法（参见《真空系统或真空容器的3大检漏方法》）检漏：将被检系统内部充入一定压力的可燃性气体，然后用检漏盒罩住可疑部位。如果被检部位存在漏孔，示漏气体就会进入检漏盒中，待积累到可检浓度后，检漏仪即会发出指示信号。

气敏半导体检漏仪可以在大气压下直接工作，抽真空后其灵敏度反而会下降。在使用可燃性气体作为示漏气体时，需要注意其爆炸极限，避开明火，防止意外。

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