在真空技术应用中，电真空器件包含的内容比较广泛。除气也是是电真空器件制造过程中关键工序之一。那如果除气不彻底对电真空器件的性能会有什么影响呢，螺杆真空泵厂家与大家一起来了解下。

电子真空工业涉及的电真空器件主要有各种电子管、离子管、电子束管、电光源管以及中子管、电子衍射仪、电子显微镜、X光显微镜等，此外还涉及各种粒子加速器、质谱仪、核辐射谱仪、气体激光器等等。另外像利用真空中的电子束进行除气、熔炼、提纯、难熔金属介质的熔化和钻孔以及焊接、放射性同位素的蒸发等这些方面也涉及电真空器件。

电真空器件工作时本身是一个较为复杂的物理-化学系统，在它里面可能同时进行着许多物理、化学过程，像吸附和脱附、扩散与迁移、化合与分解等等，这些过程的进行方式与程度和除气结果关系很大。如果除气不彻底，对器件性能的影响主要涉及下述几个方面：

首先是如果除气不彻底，那残余的气体中的一些成分可能会与电真空器件中阴极发生有害的化学反应，损害阴极的发射能力。

其次是电真空器件若除气不彻底，使用中残余气体电离形成大量的正离子使空间的电子电荷部分中和，造成电位分布畸变，影响电真空器件器件的特性。如使栅流增高、噪声增大等。另外正离子在电场的作用下飞向低电位电极（特别是阴极），使电极表面产生溅射，溅射物又沉积到其他电极和绝缘体上，可能引起漏电、打火、二次发射等现象。

第三就是残余气体会加快电真空器件内的物质迁移过程。具体的，有实验表明如电真空器件内含侵蚀性气体（SO₂、Cl₂、O₂等）且由他里较高时，一些金属（如Cu）在低温下会迅速蒸发。

为避免上述情况的出现，电真空器件在除气过程中还要综合考虑器件材料的理化与真空性能，以及真空中的物质迁移过程，阴极、消气剂与各种气体的相互作用，另外还需要正确选择与使用真空排气系统。

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