真空机组在很多真空应用中都会涉及到。今天螺杆真空泵厂家和大家说说常见的真空机组都会由哪些真空泵共同组成。

根据真空度的不同，常见的真空机组可以有低真空机组、中真空机组、高真空机组以及超高真空机组。

其中低真空机组一般常用的有往复泵、油封泵、水环泵、螺杆真空泵及爪泵等干式机械泵、射流泵、湿式罗茨泵，等等，结合一些前后端处理设备组成，用于一些大抽气量下的粗抽应用，像真空输送、真空过滤、真空干燥、真空脱气、真空蒸发浓缩。

真空度高一些的中真空机组，会在上面的提到的那些真空泵基础上，增加普通罗茨泵或者油扩散喷射泵来充当主泵，以实现更高的真空与抽速。比如比较常见的罗茨螺杆真空机组、罗茨水环真空机组、多级喷射泵串联，等等。常见用于真空镀膜、真空冶炼，医药化工中的真空蒸馏精馏，以及其他一些电工、焊接等行业应用中。

进入到10^-2Pa～10^-5Pa这样的高真空应用中，压力低、排气量小、抽速大，就需要在前面的中低真空机组基础上，由扩散泵、分子泵、低温冷凝泵、离子泵等来充当主泵。涉及的一些应用像金属蒸馏、半导体刻蚀、真空镀膜，以及涉及电子束、电子管、加速器等的电真空工业应用。

10^-6Pa及以上的超高真空应用，使用的真空泵大致与高真空机组类似，但对于真空室、管路、阀门等材料的出气率、泄漏率等有着更严格的要求，同时还要满足高温蒸烤的需要。超高真空机组对于大多数人来说一般不常见，主要用于像核工业、宇宙环境模拟、表面物理、质子加速器等。

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