螺杆真空泵厂家在介绍真空系统中的材料放气时说过，为降低材料在真空环境尤其是高真空环境中的放气，需要对其进行一些工艺处理。不锈钢作为真空系统中的常用材料，降低它的放气又有哪些方式方法呢？

真空系统中，不锈钢材料放气主要来源于吸附气体以及材料中溶解的气体，因此要降低不锈钢材料的放气主要包括：清理表面、真空烘烤、离子轰击。

首先清理表面的方法包括机械及化学方法。不锈钢表面吸附的主要有碳、碳化物及有机物，因此化学溶剂清洗可以有效降低不锈钢材料的放气情况，同时也可以用喷砂、电抛光等除掉表面层，降低放气率。下图是不同处理方法的效果比较：

第二，真空烘烤。真空烘烤的目的是加速不锈钢体内的气体扩散以及解吸，降低放气率。像真空容器要获得超高真空，真空烘烤时必要手段，下图是不同的真空烘烤温度下的不锈钢的放气率：

第三，离子轰击，即利用两个电极间低气压辉光放电产生离子轰击基片。它其实也是一种新的清洗技术，可以使一些真空系统免除高温烘烤。采用这种方法，不同的放电气体，放电后再抽除普通气体后，残余气体会有所不同。清洗后的不锈钢放气率与烘烤处理后的放气率大致相同。

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