- [真空泵百科]真空系统及材料清理方法——辉光放电清洗2019年03月08日 07:55
- 辉光放电清洗是一种较为特殊的真空系统及材料清理方式，一般用于高真空以及超高真空系统中的清洗除气。在真空镀膜设备中这种清洗方式采用的较多，核聚变研究中的托卡马克装置降低本底出气恢复装置运行采用的常规方法中就包括辉光放电清洗。今天，螺杆真空泵厂家就和大家一起来了解下。
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