辉光放电清洗是一种较为特殊的真空系统及材料清理方式，一般用于高真空以及超高真空系统中的清洗除气。在真空镀膜设备中这种清洗方式采用的较多，核聚变研究中的托卡马克装置降低本底出气恢复装置运行采用的常规方法中就包括辉光放电清洗。今天，螺杆真空泵厂家就和大家一起来了解下。

辉光放电清洗利用热丝或电极作为电子源，在其上相对于待清洗的表面加负偏压可以实现电子轰击的气体解吸以及某些碳氢化合物的去除。简单说就是利用两个电极间低压辉光放电产生的离子轰击来去除污染物。清洗过程中需要充入适当分压力的惰性气体（如氩气、氦气等），典型的放电气体工作压力介于0.05～10Pa之间。惰性气体在放电过程中被电离，并轰击真空室内壁、真空室内的其他构件，实现清洗。而且因为惰性气体的特性，其在置换其他吸附于器壁表层的气体后，更容易被真空系统抽走，有利于超高真空的获得与维持。

另外采用不锈钢材料制造的高真空和超高真空泵系统表面的杂质主要是碳和碳氢化合物。为实现对碳氢化合物更有效地清洗，一般会在充入的气体中会加入10%的氧气（氧气可以使某些碳氢化合物氧化生成易挥发的气体，从而更容易被真空系统排除）。在托卡马克装置的清洗中，为提高清除率，也会采用氢、氘等活性较高的气体，不过在放电清洗后会紧接着用氦辉光放电来降低气体残留。

辉光放电清洗的实际效果取决于电极材料、几何形状及其与表面的关系（这点在《真空材料及真空系统清洗的常用方法》中螺杆真空泵厂家已经提及过）。具体涉及的参数包括施加电压的类型、放电电压大小、电流密度、充入气体的种类和压力、轰击的持续时间、电极的形状排列，以及待清洗零件的材料和位置等。因为可以避免真空系统被高温烘烤，因此在高真空及超高真空系统清洗除气中应用得非常广泛。

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