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分析仪器为什么会用到真空系统?

信息来源:珂勒曦 时间:2018-03-02 08:08:00 浏览次数:-

很多分析仪器要正常运作,就需要用到真空系统。螺杆真空泵厂家就来简单概括下分析仪器为什么也会用到真空系统。

光电子能谱仪分析仪器真空系统

光电子能谱仪

需要用到真空系统的分析仪器有不少,如光电子能谱仪(XPS)、俄歇电子能谱仪(AES)、投射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、低能电子显微镜(LEED)、离子散射谱仪(ISS)、二次离子质谱仪(SIMS)等等。这些仪器为什么要用到真空系统,概括起来主要有4个方面。

1、电子、离子等在空气中行进的速度很慢。在《真空系统中的气流状态》,螺杆真空泵厂家介绍了几种气流状态。在湍流、黏滞流状态下,气体分子间存在大量碰撞,因此没有真空环境,在空气中运送的电子、离子与气体分子会碰撞而散射,使得电子或离子的平均自由行程变小;而只有进入到分子流状态,分子间的碰撞才可以少到忽略的程度;所以分析仪器中需要建立真空系统。

2、电子枪中的高压需要处于高真空中。电子枪的工作电压通常在几十到几百千伏之间,为防止高压击穿、束流散射及其能量减损,因此电子枪的工作环境需要保持在6.67x10-2Pa以上的高真空环境下。

3、高真空可以延长电子枪中灯丝的寿命。电子枪的结构中包括灯丝,它的寿命与真空度高低情况直接相关,真空差灯丝极易氧化、老化,影响寿命。

4、试样处于高真空中可以减少污染等。真空环境下,其他干扰物质极少,可以减量减小对分析仪器的影响。

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