氦质谱检漏中需要真空系统为质谱室提供高真空工作环境。如果检漏时设备开机很长时间还不能使工作真空度达到要求，其中可能涉及到的几方面原因，和螺杆真空泵厂家一起来了解下。

检漏仪的真空度抽不上去，首先确定是不是真的真空抽不上去，因为也有可能是真空计指示不对。真空计故障，如冷规的阳极和阴极短路，就会造成真空抽不上去的假象。这种情况，只要更换一个新的真空计，即可使检漏仪恢复正常工作。

第二种可能就是检漏仪的真空系统某部分出现了漏气。检漏仪自身产生漏气的情况大多是由于仪器在进行大拆卸情况下重新安装后，某个连接处没有拧紧而产生。如果是这种情况，最好是用分段查找的办法，将整个真空系统分隔成几段，一段一段地查找。先查机械真空泵有没有问题，再查机械泵到扩散泵或分子泵之间，最后再查扩散泵（或分子泵）以上部分。如果漏隙小，仪器还能基本工作的话，可以用仪器自身检查自身。方法是在检漏仪有灵敏度的时候，用球胆装氦气后，通过喷嘴向可疑漏隙处喷氦气，如果喷氦气后检漏仪的输出表指示明细增大，则说明喷氦处确实漏气。

第三种可能，检漏测试孔到真空计之间的管道发生堵塞现象，也会导致真空抽不上去。这种情况，可以将管道及过滤器拆下进行彻底去油清洗，清洗干净后重新安装好，即可排除故障。

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