高灵敏度氦质谱检漏仪的灵敏度主要受仪器的本底与噪声限制。这次就和螺杆真空泵厂家一起来看看高灵敏度氦质谱检漏的噪声来源。

高灵敏度氦质谱检漏仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个就是本底噪声。

实际上，目前通过对电子线路的改进，仪器中离子流接收放大及输出电路引起的噪声已经降到很低的一个程度，因此已经不是限制设备灵敏度的主要因素，如果特殊情况下仍然是限制灵敏度的主要因素的话，可以通过放大信号的办法来提高信噪比来改善灵敏度。

而本底噪声则是由本底峰的不稳定造成，与本底的大小以及电磁场参数的稳定度有关，具体的包括：1、离子源发射电子流的不稳定性，加速电压、分析器电磁参数的不稳定性；2、氦气在真空系统内的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡胶、有机绝缘材料都可以吸附和再放出氦气），电离真空计特别是磁放电真空计对氦气的记忆效应（被污染的情况下更为严重）；3、抽气系统中氦气的反扩散与对氦气抽速的不稳定性；4、氦质谱检漏仪本身漏气和氦气的渗透；5、残余气体分子对氦离子的散射等等。

这些因素对本底噪声及灵敏度的影响都很大。

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