锆铝吸气剂泵是气体捕集泵中的一种，在介绍吸气剂与吸附剂的差异时，螺杆真空泵厂家提及过。今天在这里和小编一起，我们再了解下这种气体捕集泵。

作为一种气体捕集泵，锆铝吸气剂泵利用了锆铝合金吸气材料在高温下吸附活性气体的特性，结构简单、体积小、造价低，操作安全可靠，清洁无油。其由84%锆与16%铝组成，适用于抽除以氢气为主的活性气体（不能用于抽除惰性气体）。

锆铝吸气剂泵的结构主要由不锈钢泵壳、锆铝吸气带泵芯、加热器以及测温装置等组成。泵芯就是主要的抽气部件，根据泵芯加热方式的不同，泵可以分为直接加热型与间接加热型。其抽气原理是，合金结构中铝进入锆晶格，使晶格间产生了很多孔穴，增大了锆的吸气面积，提高了气体在合金内的扩散速率；吸气首先在合金颗粒表面进行，然后往内部扩散；180℃以下以表面吸附为主，180℃以上以内部扩散为主，在350℃～450℃范围内对活性气体都有很大的吸附能力。

锆铝吸气剂泵在温度低于200℃时，对一氧化碳、二氧化碳、氧气、氮气以及水蒸气等气体不会产生吸附，但表面会与它们形成化合物，产生钝化层，阻止气体向内扩散，但在温度高于350℃后，这些气体在合金体内的扩散率就会变大，一般情况下能保证吸气所需的清洁表面，到750℃以后这些钝化层会很快被消除。因此在抽气气体成分变化时，锆铝吸气剂泵所需的工作温度要求也会不同。

最后，当锆铝吸气剂泵在长时工作后出现饱和时，即吸气速率降低到原来的80%或吸气剂表面形成氧化膜使吸气速率消失等情况时，就需要对吸气剂进行激活，也即是高温处理。一般激活温度在750～850℃，镍基带不超过960℃，激活时的压力要低于1Pa。激活能使吸气剂表面的氧化膜等分解，金属和气体的生成物向更深的体内扩散，生出高度活泼的金属表面，同时去除过量的氢。

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