溅射离子泵是超高真空应用中会经常涉及的一种清洁真空泵。对于一个实际应用中的溅射离子泵，该如何获得它的极限压力数据呢，和螺杆真空泵厂家一起了解下。

溅射离子泵的极限压力需要在测试罩中获得，且测试罩尺寸需要满足一定要求：测试罩高度与内径比为3：2；离子泵入口连接法兰内径≥100mm，测试罩内径则与离子泵入口直径相等；如泵口直径小于100mm，则测试罩内径一律为100mm。同时测试罩还需要能承受400℃的真空烘烤。

具体的测量过程是：

先是再生烘烤，启动粗抽泵对离子泵和测试罩进行预抽，同时通过烘烤电源，对离子泵和测试罩进行4小时的烘烤除气，烘烤温度可依据厂家的推荐温度；

预去气结束后，启动离子泵，关闭粗抽泵和粗抽阀，在离子泵工作的条件下继续烘烤10小时（如果烘烤过程中测试罩内的压力超过5×10^-2Pa，则需要切断烘烤加热电源，暂停烘烤，带压力降到1×10^-3Pa以下时在重新开启加热器）；

烘烤结束后，让泵和测试罩冷却到室温（15～25℃），离子泵继续抽气48小时。这个期间还需要反复对电离计进行电子轰击除气，最后一次除气应在结束测量前5小时进行，这个时候如果压力无明显变化，那测得的压力值就可以作为溅射离子泵的极限压力了。

珂勒曦是一家坚持自主研发的螺杆真空泵厂家，旗下螺杆真空泵产品不仅清洁无污染，而且拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势，广泛适用于医药、化工、半导体等行业。如果您对珂勒曦螺杆真空泵产品感兴趣或想了解更多，欢迎留言咨询或拨打珂勒曦全国免费客服热线：400-886-7766，期待您的来电。