溅射离子泵也是一种清洁无油的真空泵，一般应用于超高真空领域中，如表面物理、原子能工程、宇宙物理等领域，因此在一般的工业应用中大多是见不到的，但这不妨碍我们去了解它，所以就与螺杆真空泵厂家珂勒曦一起来看看吧。

溅射离子泵很多时候也叫潘宁泵，螺杆真空泵厂家在《真空规管在真空测量中的两种抽气效应》也曾提及过：1958年人们在使用潘宁真空计时，发现真空计本身有一定的抽气作用，因而发明了溅射离子泵，所以溅射离子泵也被称为潘宁泵。目前大部分的溅射离子泵采用的仍是潘宁型结构。

溅射离子泵最基本的抽气机理，就是电离的气体分子比中性的气体分子更容易被捕获。和螺杆真空泵厂家一起来看看：

如上图我们将它分为几个连续的过程：

首先A表示，在低压下（10^-2～10^-6Pa），钛阴极与不锈钢阳极之间加上高压，会引起潘宁放电，也就是场致发射（参见《珂勒曦小课堂：电子发射的几种形式》），产生电子；

随后B表示，电子电磁场的作用下在阳极筒内作螺旋运动；

然后到C，电子与气体分子碰撞产生正离子和繁流二次电子，并引起雪崩效应；

D，气体正离子轰击钛阴极，溅散出钛原子落在阳极筒上，形成新鲜钛膜，进行吸气，也有的会落在阴极外围区，也就是图中的β区；

E，电离后的气体中，对于活性气体，大部分与新鲜钛膜反应形成化合物，化学吸附在阳极筒内壁，一部分注入阴极表层，另有一部分化学吸附在β区；而惰性气体电离后，离子会在轰击阴极的过程中被排除，少量直接打入阴极表面或β区如图中的a，部分斜射切入阴极表面，与钛一起被掀掉埋葬在β区，如图中的b，没打入阴极的，会从阴极会的一电子恢复为中性原子或分子，然后反射到阳极表面的钛膜中被埋掉。因此溅射离子泵虽然抽惰性气体较好，但由于在抽惰性气体过程中，无法注入阴极，只能靠阳极与阴极的沉积层来抽除，比起活性气体，抽速仍然会小一些。

另外，图中的F是溅射离子泵对氢气的抽除，由于其质量小，氢离子轰击钛阴极的溅射产额低，会与电子复合成H原子，扩散到钛的晶格内，形成TiH被除掉。

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