溅射离子泵是一种可以应用于超高真空下的清洁无油真空泵，螺杆真空泵厂家珂勒曦在《珂勒曦小课堂：溅射离子泵的原理》中介绍过它。今天我们再来了解下溅射离子泵在使用维护中需要注意的几个问题。

首先关于烘烤。溅射离子泵如果长期暴露于大气中，会因为泵内的钛沉积层吸附水汽，导致泵启动困难、极限压力升高、抽速变小等问题，因此启动前需要经过烘烤。烘烤时需要将磁钢、各种引线、橡胶密封圈等拆下，缓慢升温至250～300℃，然后恒温12小时，并且保证烘烤时泵内真空度不低于0.1Pa。

其次是清洗处理。溅射离子泵如果受过油蒸气或者其他有机物污染，阴极板氧化或大量排过氢气，会影响到它的真空度。这时一般会在烘烤除气后再进行氩清洗处理。过程是用氩离子轰击钛板，将阴极板上的污染物或溶解在阴极板里的氢轰击出来，再被大量溅射的钛所吸收或埋葬掉。充氩压力维持在10^-2Pa量级或观察离子流维持早10～200mA之间摆动。整个清洗过程大约在1～2小时。

最后是使用压力与寿命。溅射离子泵的溅散率取决于轰击的离子数与能量，压力越高，阴极溅射越剧烈，因此它的使用寿命是与工作压力成法比的。所以虽说溅射离子泵的工作压力范围可以从1Pa到10^-10Pa，但为提高溅射离子泵的使用寿命，尽量不要在10^-2Pa以上的压力范围下工作。

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