珂勒曦干式真空泵单晶炉拉晶应用

您当前所在位置：首页 >经典案例 >新闻详情页

一知名光伏企业的单晶炉拉晶单元启用珂勒曦的干式螺杆真空泵及机组，经过一段时间的运行后，整体运行良好。

拉晶干式真空泵

光伏半导体企业的真空应用因工艺生产的需要，基本以干式真空为主，广泛涉及硅片拉晶、沉积镀膜、层压等工艺环节。此次珂勒曦的螺杆干式真空泵产品用于硅片拉晶环节。产品特性可以有效应对工艺过程带来问题，为拉晶工艺提供优良的真空环境，同时保证长时工作的稳定性。

拉晶干式真空泵2

【推荐阅读】：

本文标签：干式真空泵 拉晶

上一篇：已经是最后一篇了 下一篇：干式螺杆真空泵光伏行业应用