《扩散泵出现返流的几个原因》中，螺杆真空泵厂家介绍了扩散泵真空系统油气污染中的一个重要方面，也就是泵油返流，其他还有哪些呢，一起来了解下。

容易出现油蒸气污染是扩散泵真空系统的一个重大缺点。其中扩散泵油蒸气的返流是最重要的一个方面，前面已经提到。

第二个方面是零部件的污染。系统中的零部件在装取的过程中，沾有油污的手或者手套都可能污染零部件，使有机分子进入到真空系统内造成污染。

第三个方面，前级油封机械泵有的返流。除了扩散泵自身泵油的返流，如果前级泵采用了油封式机械泵，那油封泵泵油的返流也是重要的污染源。当入口压力较高，在达到过渡区（1～0.1Pa）压力时，油封机械泵的油蒸气就会直接进入到扩散泵内，对系统造成污染。另外机械泵停泵时，如果不及时向泵内充放大气，机械泵油也会返到扩散泵油锅内，扩散泵启动时对系统的污染更严重。

第四，真空系统中密封材料的放气造成的污染。像人造橡胶密封圈、密封油脂、润滑油等，这些材料选择不当，其放气也会造成严重的污染。

第五，当停泵放大气时，可能使真空零部件在空气中沾染上水蒸气、油烟等，造成对真空系统的污染。

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