压阻式真空规是弹性变形真空规中的一种，作为真空计平时遇到不多，螺杆真空泵厂家与大家一起来了解下。

压缩式真空规的核心是它的传感器，也就是压阻式压力传感器，它作为压力检测仪表，利用的是半导体材料（单晶硅）的压阻效应（固体受到作用力后电阻率发生变化，半导体这种效应尤其强烈）以及它良好的弹性形变性能，结合集成电路技术来是实现对压力的检测。具体的原理如下：

压阻式压力传感器会利用集成电路的扩散工艺将四个等值电阻做在一块硅片薄膜上，联接为平衡电桥；硅膜片利用机械加工和化学腐蚀的方法制成硅环，然后用金硅共熔工艺或其他特殊工艺与衬片烧结在一起；硅环膜片内侧为标准压力（约1×10^-3Pa），外侧极为待测压力；当硅膜片外侧的压力变化时，由于硅的压阻效应，会使电桥四个臂的阻值发生变化，电桥失去平衡，得到对应待测压力的电压信号；最后信号经过放大器、控制单元、显示单元等，显示出相应的压力数值。

压阻式压力传感器具有灵敏度高、响应频率高、体积小等特点，广泛应用于压力、液位、加速度等方面的测量。用作压阻式真空规，其测量范围一般介于10⁵Pa～10Pa之间，线性测量精度较高，且与被测气体种类无关。但需要注意的是半导体材料对温度很敏感，会产生零点漂移与灵敏度漂移，因此需要有温度补偿。

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