溅射离子泵中的一些在抽除惰性气体过程中会出现氩不稳定现象。螺杆为什么会出现这种情况呢，和螺杆真空泵厂家一起来了解下。

溅射离子泵中最简单的二极式在抽除氩、氪、氙等惰性气体时，可能会出现一种现象就是真空系统内的压力突然脉冲式上升，然后又下降的情况，压力幅度为10^-2Pa数量级，这种现象就是氩的循环不稳定现象。经常暴露于大气的溅射离子泵真空系统很容易出现这种现象。

出现氩不稳定性现象的原因主要是由于真空系统在长时间抽气后，压强降低，使气体放电模式发生变化，离子轰击阴极表面不再集中于中心部位，放电开始向周围阳极边缘所对的阴极环形部分（β区）扩展，在正离子轰击下引起溅射和氩气释放（也会引起化合物分解），导致埋藏在这些地方的氩大量释放，反过来又增加更大的离子轰击，使氩压力急剧上升，整体压力升高，但随后放电又向阴极中央集中，边缘又重新开始抽除氩气，压力开始降低。全部放出后，恢复以清除为主的过程，氩压力迅速下降。这种氩气的脉冲式放出，也可以由于压力、阳极电压等的变化而爆发。另外，当温度升至300℃以上时，被排除的氩气也会开始释放。

归根结底，出现氩的不稳定性主要是由于离子泵阴极的功能引起，因为其阴极一方面作为溅射源，另一方面又作为氩的收集极，所以会出现周期性释放被掩埋在阴极β区内的气体。为此改进型的溅射离子泵会通过分开溅射与埋藏作用，来克服这种不稳定现象。

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