真空检漏中确定灵敏度需要注意什么
信息来源:珂勒曦 时间:2020-07-09 08:01:00 浏览次数:-
进行真空检漏前,选择检漏仪器、方法的过程中会碰到对灵敏度的选择。那确定灵敏度时有一些需要注意的,随螺杆真空泵厂家一起了解下。
在《珂勒曦小课堂:真空检漏的灵敏度》中,螺杆真空泵厂家介绍了两种灵敏度,即仪器灵敏度与检漏灵敏度,两者是有差异的,这点需要了解。实际操作中,更多的还是要看检漏灵敏度。例如,氦质谱检漏仪的仪器灵敏度都是在一定的、不接被检件的最佳条件下测出的,但在实际使用中能够达到的灵敏度与被检件的实际情况以及检漏方法有关。当然如果使用条件相同时,一般来说,仪器灵敏度高的也一般能达到较高的检漏灵敏度。
因为这个差异,在具体选择中,选择什么样的检漏仪器、方法,首要的是根据被检件的最大允许总漏率,保证检漏灵敏度能够满足对应需要。提高检漏灵敏度可以更可靠的检出所存在的漏孔,但这个同时,提高对检漏灵敏度的要求,就意味着要用高灵敏度的仪器和方法这时,不单单是设备本身费用,提高灵敏度本身需要增加的附加设备与复杂的操作程度,都会使检测使用成本提高。
对于具体的一种检漏方法,检漏灵敏度的提高与设备运转容易程度之间的关系都会有一个最佳工作区,超过这个工作区,再提高检漏灵敏度或降低,都会使设备运转的容易程度急剧下降。如采用打气试漏法,对于检示大于10Pa·L/s的漏孔时,会由于气体迅速放出,被检件内的充气压力急剧下降,给检漏工作造成困难。而检示小于10-2Pa·L/s的漏孔时,会由于形成气泡时间过长,使检漏变得困难。再如,对于质谱检漏法,采用动态检漏时,灵敏度低,操作容易,反应时间和清除时间小,而在采用静态检漏时,灵敏度高,但运转困难,费时间。
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