真空系统检漏的内容，螺杆真空泵厂家前些时候还补充了一些以前没有介绍过的，如四极质谱计检漏法等，今天我们继续补充用于较大漏孔检漏的声波检漏法。

声波在日常中无处不在，它是机械振动在弹性介质中的传播形式。按照频率，声波分为人耳可闻的20Hz～20kHz的可闻声波，不可闻的低于20Hz次声波以及大于20kHz的超声波。真空系统检漏所用的声波检漏法就是利用系统漏孔泄漏过程中产生的声波来查找漏孔。具体实现的方法包括超声波定向探头检漏法与声发射检漏法。

超声波检漏（网络图片，如有侵权，请联系删除）

当真空系统中存在较大的漏孔时（10^-3Pa·m3/s以上），气体穿过漏孔会在附近形成湍流，产生大于20kHz的连续宽带超声波，在空气中传播。超声波定向探头检漏就是利用带有定向超声波探头的超声波检漏仪，对系统进行查扫，探测漏孔发出的超声波信号。超声波的方向性很强，调整探头方向可以找到输出最大值，此时探头所指的被检件位置便为漏孔的位置。但如果漏孔较小、流过漏孔的气流稀薄为黏滞流或分子流时，超声波检漏就无法探查到。

而声发射检漏，在某些方面与超声波有些类似。首先声发射（简称AE）是指材料局部因能量的快速释放而发出瞬态弹性波的现象（也称应力波发射，声波就属于纵向应力波）。这种解释比较不好理解。通俗地说，像树枝折断发出的声音，就是一种声发射，当其中释放的应变能足够大后就能形成为人耳听见的声音。而人耳听不到就需要用仪器来探测。

声发射检漏利用的就是在漏孔内外存在较大压差时，气体或液体通过漏孔，会在漏孔处激发出连续的机械应力波，其频带范围从几赫到几百千赫，此时将AE换能器（接触探头）置于器壁上接收这种应力波，并转化为连续的电信号，放大传送至声发射检漏仪器，经分析处理就可以确定漏孔位置及大小。

声发射检漏法与超声波定向探头检漏法一样，目前只能用于10^-3Pa·m3/s以上漏率的检查。相比来说，声发射检漏的漏孔位置定位要比超声波定向探头检漏更为复杂。

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