在各种真空工艺应用中，很多时候是需要在特定的真空度下完成的。因此在抽真空过程中需要通过手动调节或自动调节来维持一定的真空度。如果采用自动调节，这时就会涉及到压力控制仪。这次就和螺杆真空泵厂家一起来了解下它。

压力控制仪有采用分立元件的，也有微机化的，但通常都由压力给定单元、真空测量单元（真空计）、压力自动调节电路，以及真空调节阀等主要部分组成，集真空测量与压力调节于一体，它的主要原理可以参见下图：

压力控制仪可以实现压力自动调节，也可以进行手动调节。手动调节时，压力控制仪相当于一个手动微调真空阀。而选择自动调节时，压力控制仪会构成一个闭环的自动控制系统：首先由给定单元给出目标控制值，根据具体被控对象的特性选择好PID调节单元的各项参数，如比例度、积分时间、微分时间；当真空测量单元输出的一个表征被控装置真空室压力高低的电信号时，压力调节单元将压力设定值与压力测量值进行比较，并进行差值运算；如果超出范围，就会通过驱动电路，驱动真空调节阀，改变进入真空室的气体流量，从而使真空室的压力维持在指定的真空区间。

当然实际中被控压力调节与设定压力会有一定的偏差范围，被控压力调节只能是趋近于设定，与给定压力值保持正常允许的偏差，这偏差值的大小即是压力控制仪的控制精度高低。

除此外压力控制仪在技术上还有相应的压力控制与调节范围、可控气路数量、反应时间等参数。

应用中，像半导体材料、激光技术、离子注入、离子束刻蚀、真空镀膜等诸多领域都会涉及压力控制仪。

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