质谱计是用来测量分析真空中的残余气体的。螺杆真空泵厂家在《真空系统常用真空计之分压力真空计》中列举了常见的几类质谱计。今天我们来学习下质谱计的性能技术指标有哪些。

质谱计的性能技术指标主要涉及6个方面：

首先是灵敏度（分压力灵敏度常数），它是衡量质谱计探头部分检测灵敏度的指标，指的是输出离子流的变化量除以引起这种变化的气体分压力的变化。

第二个是分辨本领。分辨本领表征仪器分辨M与M+△M两个相邻峰的能力，通常用M/△M表示。

第三个，质量范围。质谱计在一定的灵敏度与分辨本领条件下，能够工作的质量数上限和下限之间的范围。

第四个，最小可检分压力。这个指标反映的是质谱计探头的分压力灵敏度和测量一起检测离子流信号的综合指标。对于规定的气体的最小可检分压力是检测一个等于两倍噪声的离子流输出信号。

第五个，最大工作压力。质谱计在不同应用条件下允许工作的最大全压力极限。一般情况下这项指标是对质量数28的氦峰测定的。定性分析中，最大工作压力通常定义为在该压力下仪器的分压灵敏度下降到线性值的一半时对应的压力值。还有一些仪器给出的指标是仪器能指示的最大工作压力。

第六个，最小可检浓度。这个指标表征一起对气体混合物中所能测量的某一部分的最小值。通常用：P_最小/P_全，表示。其中P_最小为气体混合物中某一组分的最小分压力，P_全为气体混合物的全压力。

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