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珂勒曦小课堂:分压力测量的意义

信息来源:珂勒曦 时间:2020-07-22 07:51:00 浏览次数:-

在真空系统中,残余气体往往都不是单一气体而是混合气体。在高真空气体成分不明的前提下,一些真空计因为自身的原理特性,无法准确获得混合气体的真实压力,这时就需要通过分压力真空计来进行测量。今天螺杆真空泵厂家与大家简单聊聊分压力测量的意义。

分压力真空计

真空应用中,气体成分不明,像超高真空计可能无法确定其对应的压力。如用电离规(以空气或氮校准)对混合气体测得的压力是混合气体离子流总和所对应的等效氮压力(或干燥空气压力)。而电离规对不同气体的灵敏度不同,因此其对混合气体所测得的等效氮压力就不是混合气体的真实压力,严重时会有数量级的误差,用分压力计测得的各分压力之和才是混合气体的真实压力。

对于很多应用,用总压力规测得残余气体的等效氮压力的量级就足够了。但如果需要测量的压力达到电离规的精度,则规管就需要定期校准,这个过程就必须知道它对不同气体的相对灵敏度,为此就必须通过分压力测量来清楚真空系统内残余气体的成分。

一般情况下,当真空系统压力高于10-5Pa时,残余气体成分与抽气前的大气成分相似,这样的压力范围内总压力值是有意义的,压力能够精确测量。但当压力低于10-5Pa时,情况会发生变化。在超高真空系统中使用的真空泵,在抽混合气体时,往往会留下一些没有被抽除的气体。而且在压力低于10-6Pa时,真空系统元件释放出来的气体对极限压力起了主要作用,这些气体的成分不同于大气。因此对于许多实际应用来说,了解系统残余气体的性质比它的压力更有意义。这个时候系统的总压力不足以提供有意义的真空环境信息,而是需要知道气体的主要成分以及相对比例或者它们的分压力。

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