真空系统及材料清理的方法中，气体冲洗也是常见的一种清理方法。不过它包括氮气冲洗以及反应气体冲洗等，平常涉及到的多为氮气冲洗。今天螺杆真空泵厂家要和大家一起来重点认识下反应气体冲洗。

关于氮气冲洗，螺杆真空泵厂家在《真空系统清洗中常用氮气吹扫是什么原因》中有过介绍，简单归纳就是利用氮气吸附热小、易抽走的特性，挤占其他气体的吸附位，减少其他气体的吸附，再抽走氮气，实现清洗，氮气冲洗后可以缩短工作时的抽气时间。

而反应气体冲洗特别适用于大型不锈钢材料制造的超高真空系统内部去除碳氢化合物污染的清洗。它的机理是在系统中引进氧化性气体（如O₂、NO）和还原性气体（如H₂、NH₃），对金属表面进行化学反应清洗，消除污染。这种气体冲洗方式可以获得原子级的清洁表面。对于一些大型真空系统的真空室以及真空原件而言，在安装完毕或运行以后，就已经被固定，这时如果再要对它们进行除气，采用化学清洗、烘烤、辉光放电等方式就需要进行拆卸清理，处理相当困难。而反应气体冲洗就可以进行原位在线除气处理，有效去除不锈钢真空室内的碳氢化合物的污染，而不需要进行拆卸与再安装。

以NO反应气体冲洗为例，首先真空室在200℃下烘烤24h，本底压力在涡轮分子泵、钛升华泵以及溅射离子泵的联合抽气下达到6.7×10^-5Pa左右；接着通过微调阀引入纯度99%的NO，并将压力控制在10^-3Pa范围；在200℃的温度下，NO与碳氢化合物反应，最终会生成氮气、二氧化碳、水等物质被抽气系统抽走。期间系统会配置B-A规、四级质谱计来检测分压力以及做残余气体分析。当四级质谱计检测不到碳氢化合物的谱峰，或NO的谱峰高度是CO峰高度的3倍或更大时，就可以结束清洗过程，一般整个过程会持续几个小时。另外因为NO气体对人体有害，因此清洗过程需要配置NO气体检测器，防止泄漏发生。

像NO气体冲洗这样的清洗效果与辉光放电处理的效果接近，但装置更为简单。其表面反应速率的大小可以通过反应气体的压力与温度来控制。但对于每一种基材，其精确参数需要通过实验来确定。

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