加热和辐照清洗也是真空系统及材料清理应用中的常用方法。继前面介绍的那些方法，本篇，螺杆真空泵厂家珂勒曦和大家一起再来认识下加热和辐照清洗法。

加热清洗即是对工件进行加热，使其表面上的挥发杂质蒸发以实现清洗的目的。清洗加热可以在常压下进行，也可以在真空条件下进行，清洗效果与工所处件的环境压力、在真空中保留的时间长短、加热温度以及污染物本身与工件材料的类型有关。过程中，随着温度的增加变化，工件表面吸附的水分子和各种碳氢化合物分子，其解吸作用会逐渐增强。超高真空下，加热到450℃以上可以得到原子级的清洁表面。

加热清洗对在较高的温度衬底沉积薄膜的的情况特别有效。但有时这种清洗方法也会产生副作用，就是有些碳氢化合物可能会在加热过程中发生聚合成为较大的团粒，同时又发生分解成为碳渣。这时采用高温火焰加热处理可以解决这个问题，如氢-空气火焰加热处理，利用火焰中的高能粒子与污物实现能量交换，使之脱离。同时粒子轰击以及表面上的粒子复合将释放热量，也有助于污物分子的解吸。

辐照清洗则是一种利用紫外辐照来分解工件表面碳氢化合物的表面清洁技术。它的机理是通过紫外线的照射，会生成臭氧并产生高活性的原子态氧（一方面光子能量小、波长长的紫外光会使污物分子激发离解；另一方面光子能量大、波长短的紫外光会促使氧分子分解成原子氧与臭氧；而臭氧吸收长波长的紫外光光子能量后又能分解为原子氧），使污物分子以及其离解产生的自由基与原子态氧形成简单易挥发的分子（如H₂O、CO₂、N₂）。这个过程可以在大气中进行，也可以在氧气压力为1.3×10^-2Pa的真空系统中进行，其反应速率会随温度的升高而增加。

另外螺杆真空泵厂家需要提醒注意的是，辐照清洗对碳氢化合物类的污染物有良好的清理效果，但无法实现对无机物（如尘埃、盐类）的清洗，这些即使暴露在紫外线与臭氧环境中，也不会产生光敏氧化反应。因此采用辐照清洗遇无机物时需要进行预处理。同时对于工件本身易氧化或者不允许氧化发生的材料，需要慎重选择辐照清洗这种方式。而且紫外线对人体皮肤、眼睛都会产生灼伤，臭氧又是一种有毒气体，操作需格外注意。

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