真空系统及材料清理中，蒸气清洗一般用于清除基片表面油脂膜和类脂膜等碳氢化物。不同于生活中的高温蒸汽清洗，真空系统及材料在实际中常用的蒸气清洗包括蒸气脱脂清洗、氟利昂蒸气冲洗，具体的随螺杆真空泵厂家珂勒曦一起来看看。

蒸气脱脂清洗常用于玻璃等材料清洗的最后一步，操作方法简单，可以大批量清洗。过程中，由乙丙基乙醇、三氯乙烯或某种氟化的碳水化合物构成的清洗液，被加热元件加热蒸发，形成高密度蒸气；蒸气对零件表面的多种油脂具有高溶解性，因此当蒸气接触到冷的零件表面，会凝结形成带有污染物的溶液然后滴落，而后零件表面会被更纯的凝结溶剂代替；这个过程会一直持续到零件过热不再发生蒸气凝结为止，零件的热容量越大，蒸气不断凝结清洗浸泡零件表面的时间就越长。

氟利昂蒸气冲洗是70年代以后发展起来的表面清洗方法，采用的清洗剂一般为三氟三氯乙烷（R113）。相比上面的蒸气脱脂清洗，氟利昂蒸气冲洗最大的优点是安全无毒。而且它的电绝缘性能好，化学性能稳定不与一般的化学试剂反应，对各类油脂的溶解性好，对钢、铝、铜等金属以及塑料、橡胶均无腐蚀性。经过氟利昂蒸气冲洗的真空零件，可以得到良好的清理效果，降低表面放气率。清洗过程中，氟利昂冲洗可以通过加热水，再由热水间接加热氟利昂清洗剂使其蒸发（R113常压下的沸点是47.6℃，这样间接加热更加均匀且容易控制）；真空零件在蒸气中放置几分钟，表面污染油脂即可被氟利昂蒸气溶解掉。

氟利昂溶剂在液体状态也可以对零件进行清洗，但这种状态下液体费料较多。另外，相比之下蒸气清洗更容易清理死角，同时溶剂中清理下来的污染物不会对下一次清洗的零件造成污染。

最后当遇到污染严重或者有牢固附着物污染的部件时，可以先擦洗、浸洗或者超声波清洗后再进行蒸气清洗。

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